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(5)通過增加前體溶液流動性和襯底的潤濕性,公司能夠加速前驅(qū)體離子在受限空間的溶液中的擴散速率,從而調(diào)控單晶薄膜晶體尺寸。相比較于上述的三種技術(shù)具有一定的材料局限性,北京在三維鈣鈦礦中不適用。

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如圖3所示,火山2018年Yan團隊先通過物理切割及打磨方法制備出了200微米厚度的鈣鈦礦單晶片,火山后續(xù)通過化學(xué)刻蝕的方法繼續(xù)減薄鈣鈦礦單晶,最終得到了最薄15微米厚的鈣鈦礦單晶片[6]。

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