此外，站集ZrO2-BTMST光刻膠的化學(xué)成分極少，可實(shí)現(xiàn)高精度圖案化，線寬小至38nm。典型代表：控中氧化鋯（ZrO2）混合光刻膠，其靈敏度幾乎比聚合物基光刻膠高兩個數(shù)量級，并且一直保持著極紫外光刻領(lǐng)域的最高靈敏度記錄。在近20年的高敏感材料探索中，入試金屬氧化物基光刻膠的出現(xiàn)，為極紫外光源和反射鏡不協(xié)調(diào)挑戰(zhàn)帶來了解決方案。
在打印精度方面，運(yùn)行獲得了LW為38nm的打印圖案。抽水ZrO2雜化光刻膠無需與聚合物復(fù)合即可具有優(yōu)異的成膜能力。
蓄能心投?2023SpringerNature.圖2基于多邊形激光掃描儀的TPL使用ZrO2-BTMST光刻膠在780nm光波長下曝光的圖案。
?2023SpringerNature.五、多廠【成果啟示】作者報告了一種用于高速TPL制造的極靈敏ZrO2-BTMST光刻膠。作為一個連接云系統(tǒng)的輸入終端，站集彩電可以依賴背后更強(qiáng)大的計算與知識能量，站集與觀眾對話、拉家常，甚至實(shí)現(xiàn)更多的主動行為功能、大量互聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的入口與界面……某種意義上，智能語音技術(shù)的彩電只是彩電真正進(jìn)入人機(jī)智能時代的一個窗口。
即，控中語音技術(shù)可以從網(wǎng)絡(luò)上得到更強(qiáng)大的支持。入試彩電行業(yè)一直在嘗試尋找遙控器替代者。
遠(yuǎn)場和全向拾音，運(yùn)行進(jìn)一步增加了對麥克風(fēng)信噪比的考驗(yàn)。2018年CES展會，抽水百度系展示了3款智能音箱產(chǎn)品。
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