通過從Al移動(dòng)到Au箔，程全該寬峰的強(qiáng)度降低，最終在9號位置記錄的光譜中，整個(gè)信號源自AdC中的CO和O-C=O鍵層存在于金箔上。過程這是這些樣品的真空能級（vacuumlevel）是一致的。XPS可以通過測定電子結(jié)合能來分析化學(xué)鍵成鍵情況和元素價(jià)態(tài)等化學(xué)信息，數(shù)字是樣品表面元素分析的常用表征手段，數(shù)字其在材料研究中的重要地位無需贅述，目前更是有每年超過12000篇包含XPS數(shù)據(jù)的論文被發(fā)表。

1954年，化管瑞典皇家科學(xué)院院士K.Siegbahn教授研制出世界上第一臺X射線光電子能譜儀（X-rayphotoelectronspectroscopy,XPS），化管并因?yàn)閷﹂_發(fā)高分辨率電子光譜儀的貢獻(xiàn)，獲得1981年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。小結(jié)用AdC的C1s峰進(jìn)行BE值標(biāo)定是一個(gè)存在漏洞的方法，控系但是目前還沒有什么好方法來替代它。

每次測量中探測區(qū)域的大小為0.3×0.7mm2圖4c中相應(yīng)的O1s光譜與Al2p、統(tǒng)投Au4f和C1s信號的演變完全一致。

未經(jīng)允許不得轉(zhuǎn)載，入試授權(quán)事宜請聯(lián)系[email protected]。然而，運(yùn)行這樣高效的測量是否在不同的微納機(jī)電器件中都能實(shí)現(xiàn)？對于給定的器件，運(yùn)行如何通過可控、連續(xù)的方式來實(shí)現(xiàn)測量效率的調(diào)制和優(yōu)化？在強(qiáng)大的激光干涉測量技術(shù)面前，器件的機(jī)械運(yùn)動(dòng)能否做到可控的隱身和現(xiàn)身？這一系列問題，仍有待進(jìn)一步探索和闡明。

重慶(c)激光干涉測量機(jī)械運(yùn)動(dòng)的響應(yīng)率（絕對值）與二維材料下真空間隙深度的關(guān)系。微納機(jī)電系統(tǒng)（M/NEMS）是帶有機(jī)械自由度的微納信息器件，配電在傳感、射頻信號處理等應(yīng)用中發(fā)揮著重要的作用。

圖片來源及版權(quán)：網(wǎng)工《中國科學(xué)信息科學(xué)》及論文作者（轉(zhuǎn)載請務(wù)必保留此版權(quán)說明，以免引起版權(quán)糾紛及訴訟）本文由作者投稿。近日，程全電子科技大學(xué)的王曾暉課題組與上海交通大學(xué)的楊睿課題組聯(lián)合報(bào)道了在二維納機(jī)電器件中實(shí)現(xiàn)對激光干涉位移測量響應(yīng)度的高效柵壓調(diào)控。