在近20年的高敏感材料探索中,息偏金屬氧化物基光刻膠的出現(xiàn),為極紫外光源和反射鏡不協(xié)調(diào)挑戰(zhàn)帶來了解決方案。在打印精度方面,差電獲得了LW為38nm的打印圖案。重慶ZrO2雜化光刻膠無需與聚合物復(fù)合即可具有優(yōu)異的成膜能力。
月電易信億千?2023SpringerNature.圖2基于多邊形激光掃描儀的TPL使用ZrO2-BTMST光刻膠在780nm光波長(zhǎng)下曝光的圖案。?2023SpringerNature.五、力交量共【成果啟示】作者報(bào)告了一種用于高速TPL制造的極靈敏ZrO2-BTMST光刻膠。
息偏原文詳情:https://doi.org/10.1038/s41565-023-01517-w。
在這些方法中,差電基于激光直接打印的TPL因其相當(dāng)高的分辨率(250nm尺度)而被認(rèn)為是最有前途的方法之一。考慮到付費(fèi)墻的存在,重慶Sci-Hub具備有直接獲取訂閱式期刊上85%的已發(fā)表論文。
自2003年成立開始,月電易信億千海盜灣就被全世界版權(quán)組織視為眼中釘、肉中刺,被重重圍剿。雖然服務(wù)器幾經(jīng)停機(jī),力交量共但是都很快恢復(fù),生命力頑強(qiáng)。
然而,息偏23%的簽名科學(xué)家在簽名以后仍繼續(xù)在Elsevier的期刊上發(fā)表了論文(其中化學(xué)領(lǐng)域這一結(jié)果為29%,心理學(xué)為17%)。今年10月,差電5位科學(xué)家從Elsevier辭去編輯職位,ProjektDEAL的聯(lián)盟的多位領(lǐng)導(dǎo)人警告稱,這5人只是眾多準(zhǔn)備從愛思唯爾辭職的第一批科學(xué)家。
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