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2022深圳国际充电桩及换电技术展览会
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此外，国际ZrO2-BTMST光刻胶的化学成分极少，可实现高精度图案化，线宽小至38nm。典型代表：充电氧化锆（ZrO2）混合光刻胶，其灵敏度几乎比聚合物基光刻胶高两个数量级，并且一直保持着极紫外光刻领域的最高灵敏度记录。
在近20年的高敏感材料探索中，桩及展览金属氧化物基光刻胶的出现，为极紫外光源和反射镜不协调挑战带来了解决方案。在打印精度方面，换电获得了LW为38nm的打印图案。技术ZrO2杂化光刻胶无需与聚合物复合即可具有优异的成膜能力。
深圳©2023SpringerNature.图2基于多边形激光扫描仪的TPL使用ZrO2-BTMST光刻胶在780nm光波长下曝光的图案。©2023SpringerNature.五、国际【成果启示】作者报告了一种用于高速TPL制造的极灵敏ZrO2-BTMST光刻胶。
充电原文详情：https://doi.org/10.1038/s41565-023-01517-w。
在这些方法中，桩及展览基于激光直接打印的TPL因其相当高的分辨率（250nm尺度）而被认为是最有前途的方法之一。考虑到付费墙的存在，换电Sci-Hub具备有直接获取订阅式期刊上85%的已发表论文。
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