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2.Sb(0112)接触展现出来的优异电学性能、款电稳定性和后端兼容性证明该技术有望成为二维电子器件的核心技术。研究者使用边缘接触,应裙低功函数金属,超高真空蒸发,隧道接触和半金属接触等种种办法来减少这种接触间隙的影响。
(b–h)通道长度分别为0.1μm(b)、推出0.2μm(c)、0.4μm(d)、0.6μm(e)、0.8μm(f)、1.0μm(g)和1.5μm(h)的MoS2 FETs在Vds=1V下的传输特性。© 2023SpringerNatureLimited(a-b)Sb(0112)-MoS2能带图,款电(c-d)EF附近的电荷密度(左)和Sb(0112)的微分电荷密度(右),(e-h)参数测量。除了n型MoS2外,应裙研究还拓展了双极性二硒化钨(WSe2)器件的低Rc,这说明Sb(0112)接触有望成为超越硅的过渡金属二硫属化物电子产品的核心技术。
三、推出核心创新点1.通过增强半金属与二维半导体界面的轨道杂化,推出制备的Sb (0112)-MoS2接触电阻仅有42Ω·μm,首次低于硅基器件且接近理论量子极限,同时在125℃下也具有出色的稳定性。款电 图3Sb(0112)-MoS2接触电阻的电学性能和稳定性。
二、应裙成果掠影近日,应裙南京大学王欣然教授、施毅教授和东南大学王金兰教授通过利用强范德华相互作用实现了单层二硫化钼(MoS2)和半金属锑(Sb)(0112)之间的轨道杂化,将接触电阻推向量子极限。
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